Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов - рейтинг книги по отзывам читателей, краткое содержание
О книге
- 2010 Год первого издания книги
Краткое содержание
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Купить книгу в книжных интернет-магазинах
Другие научные книги
Авторы: | А. А. Чижов |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | Н. П. Ямпурин, А. В. Баранова |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | А. А. Чижов |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | А. А. Раскин, В. К. Прокофьева |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | Д. Н. Шапиро |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Забавное видео
В 2 года родители подарили малышу баскетбольное кольцо и мяч, посмотрите, что умеет этот малыш сейчас!
Кредиты онлайн на карту за 15 минут
от 0,01%
ставка
до 180 дней
макс срок
до 20 000 грн.
макс сумма