Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях, В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов - рейтинг книги по отзывам читателей, краткое содержание

Автор:

В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов

Категория:

Радиотехника

Жанр:

Наука и общество

О книге

  • 2010 Год первого издания книги

Краткое содержание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Купить книгу в книжных интернет-магазинах



Другие научные книги

Забавное видео

В 2 года родители подарили малышу баскетбольное кольцо и мяч, посмотрите, что умеет этот малыш сейчас!


Нужны деньги до зарплаты?

более 30 сервисов

Кредиты онлайн на карту за 15 минут

от 0,01%

ставка

до 180 дней

макс срок

до 20 000 грн.

макс сумма