Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы, В. Киреев, А. Столяров - рейтинг книги по отзывам читателей, краткое содержание

Автор:

В. Киреев, А. Столяров

Категория:

Электротехника, Физика, Микроэлектроника, интегральные схемы

Жанр:

Наука и общество

О книге

  • 2006 Год первого издания книги

Краткое содержание

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Купить книгу в книжных интернет-магазинах



Заказать онлайн:

кредит на карту

кредит наличными

кредитку

кредит под залог

страховку


Полезное видео

Простобанк ТВ рассказывает о способах экономии на мобильной связи в Украине - звонках, SMS и ММS сообщениях, мобильном интернете. Подписывайтесь на наш канал на Youtube, чтобы не пропустить новое полезное видео о личных и бизнес-финансах.




Забавное видео

2-х летний малыш любит бросать. Смотрите, что получилось, когда родители купили ему баскетбольное кольцо! Посмотреть все видео малыша можно на канале BasketBoy TV