Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники, Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова
Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. В 2 томах. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники, Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова - рейтинг книги по отзывам читателей, краткое содержание
О книге
- 2010 Год первого издания книги
Краткое содержание
Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро - и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. В первом томе основное внимание обращается на анализ физико-химических основ ключевых технологических процессов микроэлектроники, таких как гетерогенное фазообразование, перераспределение вещества при термической и нетермической активации процессов, фотохимическое воздействие различных излучений, полей и др. Взаимосвязь этих процессов на протяжении всего технологического цикла изготовления интегральных схем устанавливается путем рассмотрения проблем межфазного взаимодействия в неравновесных микрогетерогенных системах, совместимости контактирующих материалов, анализа критериев, позволяющих прогнозировать физико-химический характер взаимодействия с использованием диаграмм фазовых равновесий. Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических...
Купить книгу в книжных интернет-магазинах
Другие научные книги
Авторы: | А. А. Чижов |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | Н. П. Ямпурин, А. В. Баранова |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | А. А. Чижов |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | А. А. Раскин, В. К. Прокофьева |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Авторы: | Д. Н. Шапиро |
Жанры: | Наука и общество |
Категория: | Радиотехника |
Забавное видео
В 2 года родители подарили малышу баскетбольное кольцо и мяч, посмотрите, что умеет этот малыш сейчас!
Кредиты онлайн на карту за 15 минут
от 0,01%
ставка
до 180 дней
макс срок
до 20 000 грн.
макс сумма